納米位移臺是一種用于測量微小尺度物體的位移或變形等現(xiàn)象的儀器，其常用參數(shù)包括：
分辨率：納米位移臺的分辨率表示儀器能夠檢測到的Z小位移量。通常情況下，納米位移臺的分辨率可達到納米級別甚至更高。
靈敏度：納米位移臺的靈敏度表示儀器能夠檢測到的Z小力量。通常情況下，納米位移臺的靈敏度可達到微牛級別。
穩(wěn)定性：納米位移臺的穩(wěn)定性表示儀器在長時間測量中的性能穩(wěn)定性。穩(wěn)定性越好，儀器在不同時間點測量結(jié)果的偏差越小。
線性度：納米位移臺的線性度表示儀器輸出信號與物體位移之間的線性關(guān)系。線性度越高，儀器輸出信號與實際物體位移之間的誤差越小。
速度：納米位移臺的速度表示儀器測量位移或變形的速度。速度越快，儀器在較短時間內(nèi)測量到更多的位移或變形數(shù)據(jù)。
這些參數(shù)在選擇和使用納米位移臺時都非常重要，可以根據(jù)具體實驗要求選擇適當?shù)膮?shù)值。此外，這些參數(shù)也可以作為評估納米位移臺性能的重要指標。
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