二維材料轉(zhuǎn)移臺2DTrans-ams-03，全電動二維材料轉(zhuǎn)移臺，是專為解決手動轉(zhuǎn)移過程 中由手的抖動帶來的這一不良結(jié)果，并充分還原手動轉(zhuǎn)移過程中的手感與 操作方式，給予更好的精確度和掌控性。同時也是一款專為手套箱環(huán)境設(shè) 計的二維材料轉(zhuǎn)移臺，用于解決水氧敏感材料的轉(zhuǎn)移痛點。并且還是一款 專為轉(zhuǎn)移“魔角”樣品而設(shè)計的二維材料轉(zhuǎn)移臺。

低溫液氮探針臺，真空腔體：真空度優(yōu)于6×10-3Pa。降溫后優(yōu)于6×10-4Pa。留有2個用戶法蘭接口（可接入氣體或者額外的電纜）；探針控制：標(biāo)配4個探針臂。調(diào)節(jié)范圍50mm*50mm*30mm，調(diào)節(jié)精度優(yōu)于10um。

微型超高真空光柵尺，體積小，結(jié)構(gòu)緊湊；適用于超高真空使用；良好的耐高溫性，最高可達(dá)100°C；精度高，絕對精度±3μm（20°C）；采用玻璃柵尺，膨脹系數(shù)小，讀數(shù)穩(wěn)定性良好；分辨率高，配合TF15細(xì)分接頭，讀數(shù)分辨率可達(dá)4nm；安裝容許公差大（容許誤差±0.1mm）。

多功能電感耦合等離子體增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)是由我團(tuán)隊成員自主研發(fā)，具有自主知識產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品。本系統(tǒng)具有低溫?zé)o催化生長石墨烯，也可對石墨烯進(jìn)行缺陷檢測與修復(fù)及各向異性刻蝕等功能，也可用于生長其他二維材料。研究成果發(fā)表于各類頂級期刊。

壓電物鏡NF100LA采用壓電陶瓷驅(qū)動的納米級物鏡掃描臺，內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性較鏈導(dǎo)向機構(gòu)，確保了掃描臺極佳的運動精度。掃描臺內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。

壓電陶瓷電機是最近20年發(fā)展起來的新技術(shù)。使用壓電陶瓷電機的定位產(chǎn)品，結(jié)構(gòu)簡單，尺寸緊湊，可以在數(shù)十毫米范圍內(nèi)實現(xiàn)納米級別的最小步長，從而解決了傳統(tǒng)納米臺行程不足，而微米電動臺分辨精度不高的問題。 卓聚科技率先在國內(nèi)研發(fā)出能產(chǎn)品化的壓電陶瓷電機線性位移平臺和旋轉(zhuǎn)臺等超精密位移產(chǎn)品，性能指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平，填補了此領(lǐng)域的國產(chǎn)產(chǎn)品空白?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片、光通訊、生物醫(yī)療、電子顯微、先進(jìn)制造、科學(xué)研究等領(lǐng)域。

JS100A是卓聚科技自主開發(fā)的全國產(chǎn)化臺階儀。具有高精度，高分解能，搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu)，提供 穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測量。

室溫探針臺是卓聚科技專為較低預(yù)算客戶研發(fā)的高可靠性探針臺系統(tǒng)，主要應(yīng)用在半導(dǎo)體/微電子，電子，機電，物理，化學(xué)，材料，光電，納米，微機電/MEMs，生物芯片，航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域，以及IC設(shè)計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。

掃描探針顯微鏡（Scanning Probe Microscope，SPM）是掃描隧道顯微鏡及在掃描隧道顯微鏡的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的各種新型探針顯微鏡（原子力顯微鏡，靜電力顯微鏡，磁力顯微鏡，掃描離子電導(dǎo)顯微鏡，掃描電化學(xué)顯微鏡等）的統(tǒng)稱，是國際上近年發(fā)展起來的表面分析儀器，是綜合運用光電子技術(shù)、激光技術(shù)、微弱信號檢測技術(shù)、精密機械設(shè)計和加工、自動控制技術(shù)、數(shù)字信號處理技術(shù)、應(yīng)用光學(xué)技術(shù)、計算機高速采集和控制及高分辨圖形處理技術(shù)等現(xiàn)代科技成果的光、機、電一體化的高科技產(chǎn)品。

探針臺和低溫系統(tǒng)專注于為半導(dǎo)體領(lǐng)域、微納米科學(xué)領(lǐng)域提供綜合性解決方案，為全國各大高校、科研院所及企事業(yè)單位提供先進(jìn)的半導(dǎo)體及微納米科學(xué)儀器，為祖國微納米科學(xué)事業(yè)的騰飛貢獻(xiàn)一份綿薄之力！

線性壓電位移臺-ML系列 ML-37A 垂直運動方向負(fù)載20N，沿運動方向負(fù)載4N。

超高真空組件和配件，提供各類高品質(zhì)的真空零部件和模塊