壓電直線納米位移臺
壓電直線納米位移臺
直線運(yùn)動(dòng)納米壓電馬達(dá)位移平臺提供行程從±7.5mm到±92mm的不同規(guī)格的標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品，運(yùn)動(dòng)分辨率可達(dá)0.05nm。提供開環(huán)和閉環(huán)控制版本、大氣和真空兼容版本。
產(chǎn)品選型：
| MF系列 | ML系列 | Z軸系列 |
| MF30-20A | ML-15 A | Z軸掃描臺 |
| MF30-30A | ML-23A | |
| NF30-40A | ML-37A | |
| ML-92A |
以上就是東莞市卓聚科技有限公司提供的壓電直線納米位移臺的介紹，
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