線性壓電位移臺-長行程系列 XYMF-133-100A
XYMF-133-100A平移臺實現(xiàn)了在XY二維空間上的準(zhǔn)確定位,具有分辨率高,行程大(XY軸行程±50mm),帶有高精度及高分辨率的位置反饋。操作簡單,定位準(zhǔn)確,能在真空下使用等優(yōu)點,可應(yīng)用于需要納米精度運動操作及定位的各個領(lǐng)域。
壓電二維納米位移臺使用壓電陶瓷驅(qū)動,運動無需潤滑,并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運動分辨率達(dá)到亞納米級。步進(jìn)和掃描雙模式工作,并且在宏觀行程范圍內(nèi)同樣達(dá)到亞納米分辨率的定位。支持開環(huán)閉環(huán)控制。
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