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低溫液氮探針臺

低溫液氮探針臺

低溫液氦探針臺特征

1.真空腔體:真空度優(yōu)于6×10-3Pa。降溫后優(yōu)于6×10-4Pa。留有2個用戶法蘭接口(可接入氣體或者額外的電纜);

2. 探針控制:標配4個探針臂。調(diào)節(jié)范圍50mm*50mm*30mm,調(diào)節(jié)精度優(yōu)于10um。每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜;

3. 顯微鏡模塊:連續(xù)變倍單筒顯微鏡,光學放大倍率:0.58X~7X(使用1X附加物鏡時),視頻放大倍率約280倍??蛇x2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um。全高清數(shù)字攝像頭,帶同軸照明和環(huán)形照明,帶機械調(diào)焦和光學調(diào)焦;

4. 變溫樣品臺:50mm直徑。變溫范圍:80K~400K。控溫穩(wěn)定性優(yōu)于±0.5K;

5. 可選配接入光纖,可將一根或幾根電學探針替換為光纖;

6. 系統(tǒng)直流漏電低于1pA。

7. 產(chǎn)品含進口分子泵機組、全量程真空規(guī)和智能溫控儀。

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