SEM納米探針臺 該產(chǎn)品實現(xiàn)了三維空間上的準確定位,它具有分辨率高,尺寸緊湊,行程大,操作簡單,能在真空下使用等優(yōu)點,可應(yīng)用于在SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運動操作。 該產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動,運...