納米壓電旋轉臺的特點及應用
納米壓電旋轉臺RF系列,通過壓電陶瓷驅動,具有定位準,位置保持性好,自帶鎖緊,能360°無限旋轉等優(yōu)點。在增強位置反饋模塊后,可實現高精度及高分辨率的開環(huán)/閉環(huán)控制,適用于大氣及真空環(huán)境下工作。
產品應用
1、電子顯微鏡原位納米探針臺
2、半導體芯片檢測
3、光刻機工件臺
4、微生物操縱手
5、光纖焊接
6、組裝
7、檢測與測量
8、高精度激光對焦
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