等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)技術(shù)基礎(chǔ)
今天卓聚科技小編來給大家介紹一下等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備的技術(shù)基礎(chǔ)。
1、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積的主要過程
等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)技術(shù)是借助于輝光放電等離子體使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長(zhǎng)的一種新的制備技術(shù)。由于PECVD技術(shù)是通過應(yīng)氣體放電來制備薄膜...
什么是等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)?
等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(plasma enhanced chemical vapor deposition,PECVD)
等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積-制取方法
在沉積室利用輝光放電使其電離后在襯底上進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)沉積的半導(dǎo)體薄膜材料制備和其他材料薄膜的制備方法。等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積是:在化學(xué)氣相沉積中,激發(fā)氣體,使其產(chǎn)生低溫等離子體,增強(qiáng)反應(yīng)物...
什么是納米位移臺(tái)?納米位移臺(tái)的工作原理是什么?
卓聚科技小編為您介紹一下什么是納米位移臺(tái)以及納米位移臺(tái)的工作原理是什么。
納米位移臺(tái)由壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器、柔性鉸鏈機(jī)械系統(tǒng)、傳感器、控制器、軟件及標(biāo)定系統(tǒng)組成,是儀器和設(shè)備領(lǐng)域的共性關(guān)鍵器件。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備、顯微成像、納米技術(shù)、激光與光學(xué)、航天航空、生物醫(yī)學(xué)、航天航空、國(guó)防軍工等領(lǐng)域。
納米位移...
位移臺(tái)知識(shí)詳細(xì)介紹
2022-10-24新聞
今天卓聚科技小編給您介紹一下位移臺(tái)知識(shí),讓您更入的了解位移臺(tái)。
位移臺(tái)主要分:電動(dòng)位移臺(tái)和手動(dòng)位移臺(tái)。
位移臺(tái)的使用概況及組成:位移臺(tái)因其高精度、可控性強(qiáng)、實(shí)用性高、維護(hù)簡(jiǎn)單、因而廣泛應(yīng)用于科研、激光應(yīng)用、全自動(dòng)計(jì)量檢測(cè)儀器設(shè)備、工業(yè)自動(dòng)化等領(lǐng)域;以及實(shí)現(xiàn)真空、污染、無菌、輻射等環(huán)境下的位移控制。
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