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當(dāng)前位置:

壓電位移臺分辨率可以達到納米級別嗎?

可以的自主研發(fā)的壓電驅(qū)動納米位移臺,使用壓電陶瓷作為運動促動元件,可以在數(shù)百毫米范圍內(nèi)實現(xiàn)亞納米級別的步長。更具有運動無需潤滑,真空兼容,可在從液氦溫區(qū)(-269攝氏度)至室溫的寬溫區(qū)內(nèi)工作等優(yōu)點。具有步進和掃描雙工作模式,在宏觀行程范圍內(nèi)達到亞納米分辨率的定位。
壓電驅(qū)動納米位移臺產(chǎn)品優(yōu)勢
結(jié)構(gòu)緊湊,高剛性。
零間隙,高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)。
室溫到液氦工作溫度,超高真空兼容。
壓電陶瓷促進器具有超長使用壽命。
帶位移傳感器,提供位置和速度閉環(huán)控制。

壓電直線納米位移臺MF30-30A

 

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