在 納米位移臺 的多軸控制中，跨軸誤差（Cross-Axis Error）是指一個軸的運動對其他軸的影響，導致精度下降或運動軌跡偏離預定路徑?？巛S誤差通常由于系統(tǒng)的耦合效應、機械誤差或電氣控制系統(tǒng)的問題而產生。為了減少這些誤差，可以從 硬件設計、控制算法 和 補償技術 等多個方面著手。 以下是幾種常見的減少跨軸誤差的方...

納米位移臺（Nanopositioning Stage）在定位和運動控制過程中，可能會受到多種誤差源的影響，影響其定位精度和穩(wěn)定性。以下是常見的誤差源及其詳細解釋： 1. 源于機械結構的誤差 1.1. 回程誤差（Backlash） 回程誤差是指在控制系統(tǒng)改變方向時，機械部件（如絲杠、齒輪、導軌等）因摩擦或間隙而導致的定位偏差。這種誤差...

確定納米位移臺的負載能力是設計和選擇適合的納米位移臺系統(tǒng)時必須考慮的重要因素。負載能力通常指的是位移臺在能夠保持高精度和穩(wěn)定性條件下所能承受的最大負載重量。以下是確定納米位移臺負載能力的主要考慮因素： 1. 負載類型 負載能力的確定首先要考慮所施加的負載類型。負載可以是： 靜態(tài)負載：即長期靜止的物體，...

納米位移臺 在控制和定位應用中，要求高定位精度。即使微小的誤差也會影響結果，因此，消除或減少誤差是設計和使用納米位移臺時須解決的關鍵問題。通過優(yōu)化設計和應用先進的算法，可以提高位移臺的精度和穩(wěn)定性。以下是常見的設計方法和算法策略，旨在減少或消除納米位移臺中的誤差。 1. 設計層面的誤差消除方法 1.1. 結...

在納米級定位中，外部振動對 納米位移臺 的影響是一個重要的挑戰(zhàn)，特別是在需要高精度和穩(wěn)定性的應用中（如 電子束顯微鏡（SEM）、納米加工、表面分析 和 定位）。為此，納米位移臺通常會采用被動隔振或主動隔振技術來減少外部振動的干擾，確保系統(tǒng)的高精度和穩(wěn)定性。 1. 被動隔振 被動隔振 是通過物理結構的設計來減少...

在納米位移臺（nanopositioning stage）系統(tǒng)中，誤差通?？梢苑譃橄到y(tǒng)誤差（或稱為固定誤差）和隨機誤差。系統(tǒng)誤差通常是由硬件、控制系統(tǒng)或環(huán)境因素引起的，而隨機誤差則表現為不可預測的波動，通常與噪聲和環(huán)境擾動有關。 要分離這兩種誤差，可以采取以下方法： 1. 基于模型的誤差分離 系統(tǒng)誤差的建模： 通過對位移臺...