納米位移臺(tái)的應(yīng)用領(lǐng)域有哪些？卓聚科技小編為大家介紹一下納米位移臺(tái)的應(yīng)用有哪些和組成。

納米位移臺(tái)的特點(diǎn)是納米級(jí)高分辨率及精度、毫秒至亞毫秒級(jí)快響應(yīng)速度、簡便的控制方式、低成本等，因此具有非常廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域，如顯微成像、激光加工（晶圓切割）、微納車削加工、圖像分辨率增強(qiáng)、光學(xué)檢測(cè)移相器等快速微納致動(dòng)應(yīng)用。

納米位移系統(tǒng)通常由三部分組成：位移臺(tái)、驅(qū)動(dòng)電機(jī)、控制器。驅(qū)動(dòng)電機(jī)及控制器主要決定驅(qū)動(dòng)扭矩、加減速度、信號(hào)處理、使用功能( 如掃描、圓弧插補(bǔ)) 等性能參數(shù)，隨著電機(jī)控制技術(shù)的提升，除了電移臺(tái)機(jī)械部件以外，電機(jī)和控制器也從很大程度上影響電移臺(tái)的振動(dòng)、噪音及電移臺(tái)的定位精度。而位移臺(tái)作為整個(gè)位移系統(tǒng)的核心，系統(tǒng)的主要技術(shù)指標(biāo)如：位移精度、行程、直線度、負(fù)載、穩(wěn)定性、適應(yīng)環(huán)境、外形尺寸等均由其決定。

由于電移臺(tái)系統(tǒng)相對(duì)比較復(fù)雜，往往涉及到機(jī)械設(shè)計(jì)、電子技術(shù)、控制水平、加工能力、裝配工藝等各個(gè)方面，所以電移臺(tái)產(chǎn)品雖然被廣泛應(yīng)用，但是目前電移臺(tái)的各項(xiàng)指標(biāo)在國內(nèi)也被深度混淆和誤解，其中重要也是容易混淆的技術(shù)指標(biāo)就是電移臺(tái)的精度。

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